Pregunta: Se utilizó un diseño factorial 2^3 para desarrollar un nitruro en cada proceso en una herramienta de grabado de plasma de una sola oblea. Cada factor se ejecuta en dos niveles y el diseño se replica dos veces. La variable de respuesta es la velocidad de grabado del nitruro de silicio. Los datos de tasa de grabado se muestran a continuación. Usando los

Se utilizó un diseño factorial 2^3 para desarrollar un nitruro en cada proceso en una herramienta de grabado de plasma de una sola oblea. Cada factor se ejecuta en dos niveles y el diseño se replica dos veces. La variable de respuesta es la velocidad de grabado del nitruro de silicio. Los datos de tasa de grabado se muestran a continuación. Usando los totales bajo las combinaciones de tratamientos, (A) determine el efecto factorial de BC. Contesta con 3 decimales. (B) determine el efecto factorial de AC. Contesta con 3 decimales.

Tasa de grabado de factores codificados

Ejecutar A B C Réplica 1 Réplica 2 Total

1 -1 -1 -1 550 604 (1) = 1154

2 1 -1 -1 669 650 a = 1319

3 -1 1 -1 633 601 b = 1234

4 1 1 -1 642 635 ab = 1277

5 -1 -1 1 1037 1052 c = 2089

6 1 -1 1 749 868 ca = 1617

7 -1 1 1 1075 1063 ac = 2178

8 1 1 1 729 860 abc = 1589